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(17) 位相シフト干渉法の計算機シミュレーション

高井信勝
平成1９年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集（CDROM版）, p.128, 2007-10


　位相シフト干渉法では，鏡面だけでなく粗面からの光波に対しても位相分布が測定できる．しかし，この手法がどのような粗面に有効であるかは，必ずしも明確化されているとは言えず，経験的に用いられることが多い．ここでは，計算機シミュレーションによって，被検物体表面の位相分布が求められる条件を，表面の粗さ，結像系の解像度と位相接続処理との関係において明らかにした．