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(27) エレベータが作り出す磁気ノイズの遮蔽方法に関する検討

林周,平田恵啓,山�阜c太,広里成隆,佐々木仁望,小林宏一郎,芳賀昭
平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集, 講演番号39, 2010-10


我々は安価かつ設置施工性に優れる磁気遮蔽方法として、誘導コイルを磁気ノイズ検出センサとしたアクティブ磁気シールド(AMC)の試作研究を行っている。本報告では、エレベータが作り出す1Hz 以下の低周波磁気ノイズについて検討した。実験では1.5 m 角のフレームに固定した検出コイルとその中心に設置した3軸補償コイルを用いた。電子線描画装置を模擬して、補償コイル中心にはパーマロイ製磁気遮蔽箱(45×45×38 cm)を配置した。ノイズ源となるエレベータと遮蔽箱中心の距離は約2mとし遮蔽箱中心に評価用フラックスゲート磁束計を配置した。補償電流のON/OFFによる評価用FG の出力変化をスペクトルアナライザで計測し遮蔽率を求めたところ、AMCを行う前の変動磁界の大きさが21 nT に対してAMC を行うことによって10 nT の変動で収まることが確認できた。